芜湖重大科技成果工程化揭榜挂帅榜单，新型HIT太阳能用高电子迁移率IZO掺杂靶材关键技术攻关

芜湖重大科技成果工程化揭榜挂帅榜单，新型HIT太阳能用高电子迁移率IZO掺杂靶材关键技术攻关

一、项目名称

新型HIT太阳能用高电子迁移率IZO掺杂靶材关键技术攻关

二、研究内容 

开展新型HIT太阳能用高电子迁移率IZO掺杂靶材关键技术，工艺主要有制粉，依照粉体要求配比进行球磨、砂磨，制成球形粉体，再通过冷等静压成型压成素胚后，进高温烧结炉，再经过表面机加工，与背管进行绑定，检验后得到最终产品。

通过IZO陶瓷纳米粉体制备技术研究，制备出粒度均匀、流动性好的球形粉体；研发ITO靶材冷等静压模具及成型技术，配合成型工艺， 解决单节长1000mmm靶材的成型开裂及密度均匀性问题；研发双层加温烧结和烧结垫环技术，解决底部与承烧板接触面阻力大，烧结开裂及靶材变形的难题;研发一体式绑定技术，绑定率由原来的  95%上升到99%以上。

三、考核指标

1、完成新型显示IZO靶材关键技术研发，在HIT太阳能应用，主要技术指标参数达到：成份配比In2O3；ZnO：90:10WT%；相对密度：≥98.5%；纯度≥99.99%；晶粒尺寸：≤5µm；电阻率≤3*10-4Ω.cm；绑定率达99%。

2、形成5项以上发明专利，产权归属企业；制定企业标准1项；

3、开发新产品、新技术、新工艺、新装置等5项。  

四、项目研发总投入

3200万元。

五、需求单位

芜湖映日科股份有限公司

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